测量原则 |
探针法 |
输入 |
BFW无导块系统 |
测量范围mm |
+/- 250 µm(高达+/- 750 µm,3x测杆长度) |
轮廓分辨率 |
测量范围+/- 250 µm:8 nm |
过滤器符合ISO/JIS标准 |
ISO 11562标准高斯滤波 |
采样长度数量符合ISO/JIS |
1-5 |
接触速度 |
0,2 mm/s; 1,0 mm/s |
测量力(N) |
0.75 mN |
重量驱动单元 |
约0.9 kg |
重量测量仪 |
约1.0 kg |
表面参数 |
超过50种符合当前ISO / JIS或MOTIF (ISO 12085)标准的表面参数可用于R-、P-和W |
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